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| 品牌 | 其他品牌 | 應用領域 | 電子/電池,航空航天,電氣,綜合 |
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Nonsequitur 高能離子槍 離子源 真空 1450
Nonsequitur 高能離子槍 離子源 真空 1450
可調光斑尺寸 ≥ 5 微米，用于空間定義濺射或植入
發射調節轟擊提供穩定的離子電流
連續可變的束流能量 5kV 至 50kV
用于束掃描和散光校正的雙倍極
預目標掃描可縮小光斑尺寸
沒有燈絲與樣品的直接視線，以避免樣品污染
客戶可更換燈絲和光束微調孔
雙燈絲可在燈絲壽命終止時提供運行備份
所有 UHV 兼容和抗蝕刻材料均用于制造
差分泵送，最大限度地減少主室氣體負荷
可在惰性氣體和氮氣范圍內運行
參數信息
輸入功率 115/230VAC 50/60Hz 自動選擇
光束能量 0-50,000V，1mA
聚焦，冷凝器 0-40,000V，1mA
燈絲功率 發射調節，5V，最大 5A
電離 電子加速電壓和發射軟件可選
離子萃取 0-2500V 軟件可選
偏轉 +/-400VDV 電源，用于 +X、-Y、+Y 和 -Y。其余八極元件由電阻分壓器網絡供電。可選 8 通道偏轉電源，具有散光校正和二次電子成像功能
聯鎖系統和輔助聯鎖
用戶界面 基于 USB 的圖形用戶界面
機箱尺寸 483（寬）x 267（高）x 435（深）毫米。19 英寸機架式機箱，6U 高
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